干泵

Edwards英國愛德華IXH610/1210/1220/1820/3030/4545/4550，IXL120/600/1000/500Q、IH80/600/1000/1800

Ebara日本荏原日本荏原ESA70/80/100/130/200/300/500W、EV-M102/202/302/502、EV-S20/50/100/200

Kashiyama日本 SDE90/120/200/303/603/1203、MU100/180/300/600/1218、Neodry全系

Pfeiffer德國普發(fā)A100L、AD600/3060/4560、A124/204/604/804/1204/1504/1804/2404、ACP15/28/40

Ulvac日本愛發(fā)科 LR/HR60-90-180-421-300-600-1200-1800-3601全系列

油泵

Edwards愛德華旋片真空泵E2M275/E2M80/E2M40/E2M30/E2M28

Edwards愛德華旋片真空泵RV8/RV12

Pfeiffer普發(fā)Duo65/D65B

Adixen阿爾卡特2012/2012A/2021

Edwards英國愛德華XDS-15I

萊寶SP630

Edwards愛德華EH500/1200/2600

Edwards愛德華QMB250

Leybold 萊寶WAU2001/251

Adixen 阿爾卡特IPF25/ACP15

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